PHENOM（飛納）臺式掃描電鏡

時間：[2018-12-29]  來源：

（1）基本介紹

飛納臺式掃描電鏡高分辨率專業版Phenom Pro，最高放大倍數超過10萬倍，分辨率<100 nm，能勝任大部分微納米結構樣品的測樣需求，還可以起到為場發射掃描電鏡的測量篩選樣品的作用。臺式掃描電鏡作為系統流變學研究所材料表征平臺之一，能夠在多方面的研究工作中發揮重要作用，例如：材料的構效關系研究、納米和微米結構檢測、微流道加工、微納噴頭制備等。

儀器性能與優勢：

• 多種成像模式獲取高清晰度圖像

• 30秒快速成像，適合各類固體與粉末樣品的快速檢測

• 操作簡便

• 1500小時壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲

• 自動燈絲對中，自動調節圖像亮度、對比度

• 樣品導航，全程定位樣品掃描位置，想看哪里點哪里

• 無需噴金的條件下可直接觀測各類材料

• 具有一定的防震功能，對表征環境要求不高

高質量圖像

Phenom采用低加速電壓（5、10、15 kV）、低真空度（0.1 mBar）、高靈敏度背散射電子探測器與長壽命高亮度低色差的CeB6燈絲的最優化組合，為樣品提供高信噪比、表面細節豐富的優質圖像。

20x-150,000x連續放大，分辨率<14 nm，大景深。探測背散射電子，展現清晰形貌結構。低加速電壓，電子穿透深度淺，避免樣品的深度破壞，展現更多表面細節。

Phenom（飛納）得到的圖像

30秒快速成像

Phenom（飛納）專利樣品杯和低真空設計，裝入樣品后30秒鐘內即可得到高質量圖像，耗時僅為傳統電鏡的1/10左右。

操作簡便，全程導航

Phenom（飛納）直觀的用戶界面，用戶僅需較少的培訓，掌握對控制旋鈕和觸摸屏的操作便可得到高質量的圖像。Phenom獨一無二的設計將通常電子顯微鏡所具有的操作復雜性降低到類似于光學顯微鏡的水平。

利用控制旋鈕和觸摸屏可以完成以下操作：

• 自動/手動聚焦

• 自動/手動亮度對比度調節

• 自動/手動燈絲對中調節

• 自動樣品臺

Phenom電鏡采用馬達驅動自動樣品臺，點擊屏幕上希望觀測的區域，即可輕松移動樣品臺。

（2）應用場景

分析測試中心的傳統大型電鏡屬于稀缺科研資源，無法滿足眾多課題組的大量測樣需求。通常使用這類電鏡需要排隊預約，為此常常耗費大量的等待時間，導致實驗無法及時得到結果反饋。臺式掃描電鏡最快15秒抽真空，操作簡單、載樣快捷，該電鏡的應用可以大幅提高研究效率。

（3）關鍵指標

• 最大放大倍數：150,000倍

• 最小分辨率：10納米

（4）其他指標

• 光學顯微鏡放大倍數：20-135倍

• 探測器：高靈敏度四分割背散射電子探測器

• 燈絲材料：1,500小時CeB6燈絲

• 放置環境：采用專業防震設計

• 加速電壓：5kV-15kV連續可調

• 抽真空時間：小于15秒